Власти проверят эффективность госсубсидий на создание российского литографа — на это тоже выделят немалые деньги
Минпромторг выделяет 300 млн руб. на проверку работ по созданию материалов и оборудования для микроэлектроники. Проверка продлится два года. Тендер на проведение проверки был опубликован 29 января 2025 г., исполнитель будет выбран 18 февраля.
Создание собственного оборудования становится всё более важной задачей, так как с марта 2022 г. закупка и ввоз оборудования для микроэлектроники в Россию усложнились, а цены выросли. Поставщики Samsung и SK Hynix прекратили поставки даже подержанного оборудования в КНР из-за опасений параллельного импорта.
Минпромторг проведёт анализ эффективности выданных субсидий предприятиям, работающим над микроэлектроникой. В рамках проверки будут проанализированы затраты на опытно-конструкторские работы (ОКР) и проведены выездные проверки для оценки результатов предоставления субсидий. Все мероприятия завершатся 15 декабря 2026 г.
Программа развития электронного машиностроения предполагает импортозамещение около 70% оборудования и материалов для микроэлектроники к 2030 г. В России планируется запустить 110 ОКР. Документ включает в себя следующие направления развития импортозамещения: технологическое оборудование, материалы и химические вещества, системы автоматизированного проектирования (САПР). Он был представлен руководителем департамента электронного машиностроения МНТЦ МИЭТ Яковом Петренко.
На программу предусматривается финансирование в размере более 240 млрд руб. до 2030 г. Уже запущено 67 проектов, а в 2025-2026 гг. планируется ещё 43. План включает разработку оборудования для 20 технологических маршрутов, включая микроэлектронику, СВЧ-электронику, фотонику и сборку компонентов. К 2026 г. должна быть также освоена эпитаксия — процесс выращивания полупроводниковых материалов.
Кроме того, ведётся работа по освоению необходимых материалов. В марте 2023 г. Минпромторг выделил более двух миллиардов рублей на освоение производства материалов для чипов в России. Группа «Элемент» занимается проектами по производству оборудования для радио-, СВЧ- и микроэлектроники. ООО «Нанотроника», принадлежащая группе «Элемент», разрабатывает и выпускает оборудование, в проект уже вложено несколько миллиардов рублей.