Расширение возможностей растрового электронного микроскопа
Ученые Северо-Осетинского государственного университета имени К.Л. Хетагурова (СОГУ) усовершенствовали растровый электронный микроскоп, разработав для него детектор тормозного рентгеновского излучения, позволяющий получить больше информации об исследуемом объекте. Устройство защищено патентом.
Обычный растровый электронный микроскоп предназначен для исследования с высоким разрешением поверхности изучаемого образца. Разработанный детектор позволяет «увидеть» его подповерхностную структуру на глубину до 1 мкм.
В основе работы устройства заложен принцип сканирования объекта электронным лучом. Луч проникает на небольшую глубину и естественным образом тормозится. В результате возникает тормозное рентгеновское излучение, которое буквально просвечивает образец изнутри. По интенсивности поглощения рентгеновского излучения можно судить о плотности различных участков образца.